エドワーズ AIGX-S-DN40CF(アクティブイオンゲージ) 6.6-6.6×10^-8Pa 1台
AIGXはイットリアコートイリジウムフィラメントを2本装備したコンパクトで丈夫なアクティブイオンゲージです。
測定範囲は6.6～6.6×10-8Pa で、リニア(1 ボルト/1 桁)出力します。
電子回路モジュールと交換可能なゲージチューブを備えたAIGXは脱ガスおよびフィラメント保護機能を装備し、生産設備としての要求事項を全て満たしています。
AIGXは荷電粒子放出量が極めて低く、粒子の混在が嫌われるプロセスには理想的な真空計といえます。
測定範囲：6.6-6.6×10^-8Pa
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