用途
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。特長
ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。仕様
排気速度(L/min)50/60Hz:120/145
到達圧力(Pa):3.3×10[[の3乗]]
吸気口径(mm):16
電源(V):単相100
寸法(mm):193.5×411×285
騒音値(dB):-
電源:単相100V
サーマルプロテクタ付
異電圧対応可(お問い合せください)注意事項
「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。
吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。
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- ULVAC
- ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
- 100V
- DA121D
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