用途
理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
真空乾燥器、凍結乾燥器。特長
マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。仕様
排気速度(L/min)50/60Hz:135/162
到達圧力(Pa):0.67
電源(V):三相マルチ
寸法(mm):170×485.5×240
騒音値(dB):-
吸気口径:KF-25
使用油:ＳＭＲ－１００注意事項
高真空領域(10[[の-1乗]]Pa台)の能力がありますので、継ぎ手、容器などは高真空で十分に使用可能なものをお使いください。
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- ULVAC
- 直結型油回転真空ポンプ
- GLD137AA
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