【商品説明】
【特徴】
マスフローコントローラーを使用しているため、圧力・温度の影響を受けにくく安定した混合ガスの供給が可能です。
タッチパネル式で設定が容易です。
各ラインの流量・時間を設定しプログラム運転が可能です。
各ライン流量の上下限設定が可能で警報音通知が可能です。
【仕様】
混合ライン数：3
サイズ（mm）：430×400×280
対応ガス種：N2・Air・H2・Ar・He・CO2・O2・CH4等不活性ガス
流量：1ライン10SCCM～20SLM（各系統ガス合計50SLMまで）
接続：1/4SWL相当
入力電源：AC100V
※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。
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