安立計器 熱電対付きシリコンウェーハ AWシリーズ 0～500℃ 絶縁被覆材質：アルミナ繊維スリーブ Kタイプ 1個 AW-0505K-A-TS1-ANP
AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な"熱電対付きシリコンウェーハ"です
【用途】シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等
【注意事項】検査成績書は標準付属です。
使用温度範囲（）：0～500
100～200における許容差（）：±5.0
熱電対の種類：Kタイプ
ウェーハサイズ（インチ）：5
センサ点数：5
絶縁被覆材質：アルミナ繊維スリーブ
コードの長さ（m）：1
プラグ形状：ミニプラグ
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